高純氧氣是一種無色無臭無味氣體，分子式是O2。

純度≥99.995%。塵埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，雜質(zhì)含量N2≤10 cm3/m3，Ar≤5cm3/m3，H2O≤lcm3/m3，CO2≤0.5cm3/m3。無色無臭無味氣體。氧不可燃，但助燃。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)1.105。氣體密度1.326kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度1141kg/m3(- 182.96℃)。 沸點(diǎn)- 182.96℃。熔點(diǎn)-218.78℃。

高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質(zhì)，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達(dá)3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。